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Plasma etching : an introduction

edited by Dennis M. Manos, Daniel L. Flamm. -- Academic Press, 1989. -- (Plasma-materials interactions). <BB00273655>
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Plasma etching : an introduction

edited by Dennis M. Manos, Daniel L. Flamm. -- Academic Press, 1989. -- (Plasma-materials interactions). <BB00273655>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 中央館 書庫5層-洋
 		427.6/PL 0112189067110 通常 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 中央館
配置場所 書庫5層-洋
請求記号 427.6/PL
資料ID 0112189067110
状態 通常
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 Plasma etching : an introduction / edited by Dennis M. Manos, Daniel L. Flamm
出版・頒布事項 Boston : Academic Press , c1989
形態事項 xii, 476 p. : ill. ; 24 cm
巻号情報
ISBN 0124693709
書誌構造リンク Plasma-materials interactions//a
注記 Includes bibliographical references and index
学情ID BA07363130
本文言語コード 英語
著者標目リンク Manos, Dennis M.
著者標目リンク Flamm, Daniel L.
分類標目 LCC:TA2020
分類標目 DC:621.044
分類標目 NDC:427.6
件名標目等 Plasma etching
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