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Journal of vacuum science and technology

American Vacuum Society. -- Vol.1, no.1(1964)-v.21, no.4(1982). -- American Institute of Physics, 1964. <SB10015198>
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American Vacuum Society. -- Vol.1, no.1(1964)-v.21, no.4(1982). -- American Institute of Physics, 1964. <SB10015198>
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No. 所蔵館 配置場所 巻号 年月次 備考 アラート
0001 中央館 書庫1層-洋雑誌
 		16(1, 3-6), 17-21 1979-1982
No. 0001
所蔵館 中央館
配置場所 書庫1層-洋雑誌
巻号 16(1, 3-6), 17-21
年月次 1979-1982
備考
アラート
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書誌詳細

標題および責任表示 Journal of vacuum science and technology / American Vacuum Society
ISSN 00225355
巻次・年月次 Vol.1, no.1(1964)-v.21, no.4(1982)
出版・頒布事項 New York : American Institute of Physics
注記 Description based on Vol.5 and Vol.21(1982)
学情ID AA00708677
書誌変遷リンク 継続後誌 :Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films : an official journal of the American Vacuum Society
書誌変遷リンク 継続後誌 :Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics processing and phenomena : an official journal of the American Vacuum Society
著者標目リンク American Vacuum Society
著者標目リンク American Institute of Physics
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