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ウルトラクリーンULSI技術

大見忠弘著. -- 培風館, 1995. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ 菅野卓雄[ほか]監修 カテゴリーI エレクトロニクス材料・物性・デバイス 15). <BB00191156>
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ウルトラクリーンULSI技術

大見忠弘著. -- 培風館, 1995. -- (アドバンストエレクトロニクスシリーズ 菅野卓雄[ほか]監修 カテゴリーI エレクトロニクス材料・物性・デバイス 15). <BB00191156>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 中央館 3F-東
 		549.7/OO 0111196113786 通常 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 中央館
配置場所 3F-東
請求記号 549.7/OO
資料ID 0111196113786
状態 通常
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 ウルトラクリーンULSI技術 / 大見忠弘著
ウルトラクリーン ULSI ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 培風館 , 1995.12
形態事項 xi, 366p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4563036153
書誌構造リンク アドバンストエレクトロニクスシリーズ 菅野卓雄[ほか]監修 カテゴリーI エレクトロニクス材料・物性・デバイス 15||アドバンスト エレクトロニクス シリーズ カテゴリーI エレクトロニクス ザイリョウ ブッセイ デバイス 15//a
その他の標題 異なりアクセスタイトル:ウルトラクリーンULSI技術
ウルトラ クリーン ULSI ギジュツ
その他の標題 異なりアクセスタイトル:アドバンストエレクトロニクス
アドバンスト エレクトロニクス
注記 参考文献: 各章末
学情ID BN13643698
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 大見, 忠弘
オオミ, タダヒロ
著者標目リンク 菅野, 卓雄(1931-)
スガノ, タクオ
分類標目 NDC:549.7
分類標目 NDC:549.8
件名標目等 集積回路||シュウセキカイロ
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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