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微細加工 : サブミクロン素子への展開

中野朝安 [ほか] 著. -- 東京電機大学出版局, 1989. <BB00093297>
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微細加工 : サブミクロン素子への展開

中野朝安 [ほか] 著. -- 東京電機大学出版局, 1989. <BB00093297>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 中央館 3F-東
 		549.7/NA 0111190107351 通常 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 中央館
配置場所 3F-東
請求記号 549.7/NA
資料ID 0111190107351
状態 通常
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 微細加工 : サブミクロン素子への展開 / 中野朝安 [ほか] 著
ビサイ カコウ : サブミクロン ソシ エノ テンカイ
出版・頒布事項 東京 : 東京電機大学出版局 , 1989.3
形態事項 vi,240p ; 21cm
巻号情報
ISBN 4501313307
学情ID BN03301767
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 中野, 朝安(1923-)
ナカノ, トモヤス
分類標目 NDC:549.7
分類標目 科学技術 NDLC:ND386
件名標目等 集積回路
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