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半導体エピタキシー技術

河東田隆著. -- 産業図書, 1982. -- (集積回路プロセス技術シリーズ). <BB00137855>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 中央館 書庫-和
549.8/K9/=2 0111170503756 通常 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 中央館
配置場所 書庫-和
請求記号 549.8/K9/=2
資料ID 0111170503756
状態 通常
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 半導体エピタキシー技術 / 河東田隆著
ハンドウタイ エピタキシー ギジュツ
出版・頒布事項 東京 : 産業図書 , 1982.10
形態事項 193p ; 22cm
巻号情報
ISBN 4782856229
書誌構造リンク 集積回路プロセス技術シリーズ||シュウセキ カイロ プロセス ギジュツ シリーズ//a
注記 各章末:参考文献
学情ID BN00813820
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 河東田, 隆(1944-)
カトウダ, タカシ
分類標目 NDC:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体