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超LSI回路とプロセス

西澤潤一編. -- 工業調査会, 1986. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 24巻 . 超LSI技術 ; 10). <BB00023127>
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超LSI回路とプロセス

西澤潤一編. -- 工業調査会, 1986. -- (半導体研究 / 半導体研究振興会編 ; 24巻 . 超LSI技術 ; 10). <BB00023127>
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所蔵一覧 1件～1件（全1件）

No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 中央館 3F-東
 		549.8/HA/24 0312003175775 通常 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 中央館
配置場所 3F-東
請求記号 549.8/HA/24
資料ID 0312003175775
状態 通常
返却予定日
予約 0件
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書誌詳細

標題および責任表示 超LSI回路とプロセス / 西澤潤一編
チョウ LSI カイロ ト プロセス
出版・頒布事項 東京 : 工業調査会 , 1986.8
形態事項 8,324p ; 27cm
巻号情報
ISBN 4769310544
書誌構造リンク 半導体研究 / 半導体研究振興会編||ハンドウタイ ケンキュウ <BB00023122> 24巻 . 超LSI技術||チョウ LSI ギジュツ ; 10//bb
注記 執筆:秋谷秀夫ほか
注記 各章末:参考文献
学情ID BN00551043
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 西澤, 潤一(1926-)||ニシザワ, ジュンイチ <AU10097024>
分類標目 電子工学 NDC8:549
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 半導体||ハンドウタイ
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