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VHF and Microwave Discharge Plasmas: Surface Heating of Plasmas at VHF and Microwave Frequency in Advanced Materials Processing

Essam Abdel Fattah, Hideo Sugai. -- VDM Verlag Dr. Müller, 2010. <BB30230629>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 中央館 2F-洋書
547.516/AB 0312014091530 通常 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 中央館
配置場所 2F-洋書
請求記号 547.516/AB
資料ID 0312014091530
状態 通常
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 VHF and Microwave Discharge Plasmas: Surface Heating of Plasmas at VHF and Microwave Frequency in Advanced Materials Processing / Essam Abdel Fattah, Hideo Sugai
出版・頒布事項 Saarbrücken : VDM Verlag Dr. Müller , 2010
形態事項 vi, 152 p. : ill. ; 22 cm
巻号情報
ISBN 9783639241488
注記 Includes bibliographical references (p. 141-142)
学情ID BB17096708
本文言語コード 英語
著者標目リンク Abdel Fattah, Essam <>
著者標目リンク 菅井, 秀郎(1944-)||スガイ, ヒデオ <AU10132455>