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最新プラズマプロセスのモニタリング技術と解析・制御

林康明編著. -- リアライズ社, 1997. <BB00023049>
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No. 巻号 所蔵館 配置場所 請求記号 資料ID 状態 返却予定日 予約
0001 中央館 3F-東
549.8/SA 0312003175714 通常 0件
No. 0001
巻号
所蔵館 中央館
配置場所 3F-東
請求記号 549.8/SA
資料ID 0312003175714
状態 通常
返却予定日
予約 0件

書誌詳細

標題および責任表示 最新プラズマプロセスのモニタリング技術と解析・制御 / 林康明編著
サイシン プラズマ プロセス ノ モニタリング ギジュツ ト カイセキ セイギョ
出版・頒布事項 東京 : リアライズ社 , 1997.8
形態事項 4, 174, 4p ; 30cm
巻号情報
ISBN 4947655984
注記 各章末:参考文献
学情ID BA3264799X
本文言語コード 日本語
著者標目リンク 林, 康明
ハヤシ, ヤスアキ
分類標目 電子工学 NDC8:549.8
分類標目 科学技術 NDLC:ND371
件名標目等 プラズマ||プラズマ